オムロンMEMS製品ご案内　　オムロン株式会社
当社は、オムロンMEMS製品取扱い特約店です。

光通信デバイス

	ＰＡＣＳ 12chフラットタイプマイクロレンズアレイ 形P1L 世界で初めてMTフェルールへの 無調芯実装を実現した プラスチック射出形マイクロレンズアレイ	※１　光源:850nm（LED定常モード）／エアギャップ；C1：1.5ｍｍ、C2：2.5ｍｍ（レンズからレンズ）MTガイドピンのみでの実装（他のアライメント機構やマッチングオイル使用せず） ※２　光源:850nm（VCSEL）／エアギャップ；　F1：0.3mm（VCSELからレンズ） 0.3mm（レンズ裏面からファイバ）　F2：0.2mm（VCSELからレンズ） 0mm（レンズ裏面からファイバ） MTガイドピンのみでの実装 （他のアライメント機構やマッチングオイル使用せず） ※３　レンズ位置精度は、両アライメント穴の中点から定義
	ＰＡＣＳ 12chライトトライアングルマイクロレンズアレイ 形P1L 世界で初めてMTフェルールへの 無調芯実装を実現した プラスチック射出形マイクロレンズアレイ

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MEMSフローセンサ

流量センサ　気体の質量流量を高精度に検出するセンサ
	形D6F-□A1-110 小形、高性能で微流量を測量 ・±3F.S.の高精度 ・温度、圧力に影響されず流量計測可能
	形D6F-01N2/05N2/02L2 都市ガス、LPガスの微流量を計測 ・1L/min〜5L/minのガス流量を計測。 ・±3F.S.の高精度。 ・温度、圧力に影響されず流量計測可能。
	形D6F-03A3 MEMSフローチップを搭載。 薄型、小型で高精度センシングを実現 ・MEMSフローチップを搭載した業界最薄・ 　最軽量のフローセンサを実現。 ・独自の流路構造により高精度、高速応答を実現。
	形D6F-10A5/D6-20A5/D6F-50A5 形D6F-10A6/D6-20A6/D6F-50A6 小型で50L/miniの質量流量を高精度に検出 高精度センシングを実現
風量センサ　フィルタの目づまりや、ダクト内の風量変化を高感度に検出するセンサ
	形D6F-W01A1/D6F-W04A1 当社独自の立体流路構造を設け 小型、高性能で風量を計測 ・当社独自の立体流路構造により耐ダスト性能に考慮。 ・±5%F.S.の高輝度。

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赤外線温度センサ

超小型の非接触温度センサ D6Tシリーズ　レンズタイプ 赤外線温度センサは、オムロンのセンシング技術、微細加工技術により開発された、高感度・高速応答性に優れた超小型の非接触型センサモジュールです。

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タッチセンサ

	4ch用IC　形B6TS-04LT
	8ch用IC　形B6TS-08LF
	16ch用IC　形B6TS-16LF

※　B6Tシリーズは、タッチセンサ等に利用可能な、微小静電容量検出機能を持つＩＣです。

検知内容